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气体质量流量控制器

。发布日期:2013-07-24 23:11:16   来源:www.styb.cn

气体质量流量控制器(Mass Flow Controller)/气体质量流量计(Mass Flow Metre)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制,特别是对于微小质量流量的测量和控制。D600系列数字型气体质量流量计/控制器精度高、重复性好、稳定性高、工作压力范围宽,广泛应用于能源、电力、化工、医疗、半导体等各个领域。

【产品特点】
◆ 本地高清晰中文液晶显示;
◆ 适用极低的流量,精确测量各种量程的流量,最低量程0~5 SCCM( 标准毫升/分钟);
◆ 数字、模拟量输入输出;
◆ 可连接上位机软件控制运行;
◆ 极低的零漂和温漂;
◆ 多气体、多量程、高精度,响应时间短;
◆ 多种可量程可供选择:
     流量规格(N2): (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM;
      (0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100)SLM

气体质量流量计
 

气体质量流量计由质量流量计传感器、分流器通道、流量控制调节阀、放大控制电路组成。被测气体分成两个层流区,一个通过主流量管道,另一个通过毛细管。独特的设计确保两个管路里的流体都是层流状态,因此两个管路的流量比是恒定的。工作时,毛细管上两个精确的温度感应绕组被加热,当有流量时,被加热的气体从上游到下游流动,在两个感应绕组之间产生了温差,温差与电阻的变化成比例关系。

用惠斯顿电桥来测量温度感应绕组的温度变化差值。惠斯顿电桥的输出通过ADC(模数转换)转换成12位的数字信号。

微处理器和非易失性存储器存储了所有的标定数据,直接控制操作比例电磁阀。这个数字闭环控制系统不断的比较当前的流量值与设定值,如果与设定值偏离,通过调整阀门进行修正,PID算法运算实现高精确度的控制。根据被测气体的流量大小输出0…5VDC或者4…20mA信号。


 

 

产品名称  气体质量流量控制器,气体质量流量计,微小流量气体流量计
 适用介质  洁净、干燥的气体(不能含水汽、油)
 量程范围(N2)   (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM;
(0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100)SLM
 公称压力  0~10MPa
 环境温度  5~65℃
 测量精度  ±1.0%
 响应时间   < 1秒
 壳体材质  不锈钢;
 供电方式  外供7~16VDC(带电源适配器);
 输出信号  4~20mA;0~5V;RS232/RS485
 差压范围  0.05~0.3MPa;
 表头显示  累积流量;瞬时流量;工作模式;阀控状态
 连接方式  卡套连接Φ3,Φ6,Φ8,Φ10

 

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