气体质量流量控制器（Mass Flow Controller)/气体质量流量计（Mass Flow Metre)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，特别是对于微小质量流量的测量和控制。D600系列数字型气体质量流量计/控制器精度高、重复性好、稳定性高、工作压力范围宽，广泛应用于能源、电力、化工、医疗、半导体等各个领域。
【产品特点】
◆ 本地高清晰中文液晶显示；
◆ 适用极低的流量，精确测量各种量程的流量，最低量程0~5 SCCM( 标准毫升/分钟）；
◆ 数字、模拟量输入输出；
◆ 可连接上位机软件控制运行；
◆ 极低的零漂和温漂；
◆ 多气体、多量程、高精度，响应时间短；
◆ 多种可量程可供选择：
流量规格（N2）： (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
（0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100）SLM
气体质量流量计由质量流量计传感器、分流器通道、流量控制调节阀、放大控制电路组成。被测气体分成两个层流区，一个通过主流量管道，另一个通过毛细管。独特的设计确保两个管路里的流体都是层流状态，因此两个管路的流量比是恒定的。工作时，毛细管上两个精确的温度感应绕组被加热，当有流量时，被加热的气体从上游到下游流动，在两个感应绕组之间产生了温差，温差与电阻的变化成比例关系。
用惠斯顿电桥来测量温度感应绕组的温度变化差值。惠斯顿电桥的输出通过ADC(模数转换)转换成12位的数字信号。
微处理器和非易失性存储器存储了所有的标定数据，直接控制操作比例电磁阀。这个数字闭环控制系统不断的比较当前的流量值与设定值，如果与设定值偏离，通过调整阀门进行修正，PID算法运算实现高精确度的控制。根据被测气体的流量大小输出0…5VDC或者4…20mA信号。
| 产品名称 | 气体质量流量控制器,气体质量流量计,微小流量气体流量计 |
| 适用介质 | 洁净、干燥的气体（不能含水汽、油） |
| 量程范围（N2) |
(0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM； （0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100）SLM |
| 公称压力 | 0～10MPa |
| 环境温度 | 5～65℃ |
| 测量精度 | ±1.0% |
| 响应时间 | < 1秒 |
| 壳体材质 | 不锈钢； |
| 供电方式 | 外供7～16VDC（带电源适配器）； |
| 输出信号 | 4～20mA；0～5V；RS232/RS485 |
| 差压范围 | 0.05～0.3MPa； |
| 表头显示 | 累积流量；瞬时流量；工作模式；阀控状态 |
| 连接方式 | 卡套连接Φ3,Φ6,Φ8,Φ10 |
